多晶制绒刻蚀深度对电池片转化效率的影响

• 作者: 刘文超 孟汉堃 李雪方 武佳娜
• 来源期刊: 煤
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅片 酸腐蚀 滚轮转速 电池转换效率
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 26-27,89
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 1464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2798.2014.08.012

摘要

采用 HF、HNO3和纯水的混合溶液对多晶硅片进行表面酸腐蚀绒面制备。实验通过调整制绒设备滚轮转速来控制刻蚀深度，制备出深度分别为3.2μm、3.5μm 和3.8μm 的电池硅片，然后进行相同的电池生产工序，制备出生产用电池片。对比制绒微观形貌和电学性能参数，结果显示：在片源、电池生产实验工艺参数相同，制绒刻蚀深度为3.5μm 时，制备出的绒面微观腐蚀坑均匀致密，电池转换效率最优。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟汉堃		4	1	1.0	1.0
2	李雪方		7	2	1.0	1.0
3	武佳娜		3	1	1.0	1.0
4	刘文超		2	3	1.0	1.0