IC封装设备的直线电机定位精度试验研究

• 作者: 刘亚奇 常青青 邱彪 黄美发
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 定位精度 激光干涉仪 误差补偿
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 控制与检测
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TH39|TG506
• 字数: 2715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13462/j.cnki.mmtamt.2014.08.014

摘要

直线电机凭借其优异的传动性能在IC封装设备中被广泛应用，其定位精度直接影响设备的总体精度。为了提高直线电机定位精度，采用Agilent双频激光干涉仪对直线电机的定位精度进行测试。通过直线电机不同工况下的定位精度进行了测试，发现直线电机进给的速度、加速度的变化对定位精度的影响不大，且定位精度具有累计性。最后，根据功能要求采用分段补偿方法对直线电机定位精度进行误差补偿，试验结果表明该误差补偿方法简单易行。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美发	桂林电子科技大学机电工程学院	178	1094	15.0	23.0
2	常青青	桂林电子科技大学机电工程学院	5	17	3.0	4.0
3	刘亚奇		3	14	2.0	3.0
4	邱彪	桂林电子科技大学机电工程学院	6	42	5.0	6.0