多晶硅绒面结构光学特性的数值模拟

• 作者: 张发云
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 多坑 反射率 绒面 数值模拟
• 年，卷（期）: 2014,（18）
• 所属期刊栏目: 计算模拟
• 页码范围: 137-140
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 2485字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2014.18.033

摘要

基于麦克斯韦方程组和材料本构方程,利用多物理场有限元软件COMSOL Multiphysics 3.5a中的RF模块建立了多坑绒面的有限元模型,并对硅片腐蚀前后的光学特性进行了模拟.研究表明,与硅片腐蚀前相比,腐蚀后(即多坑)绒面反射率较低,功率流y分量较高,具有较好的陷光效果,当波长为800 nm时,多坑绒面表面电场z分量的最大值和最小值分别为腐蚀前硅片的3.1倍和2.3倍,而表面磁场y分量两个极值分别为腐蚀前硅片的6倍和6.6倍;通过将模拟结果和实验数据比较可知,多坑模型模拟结果更接近实验值,所获模拟结果可更好地指导实际生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张发云	江西省高等学校硅材料重点实验室	26	105	5.0	9.0