多晶硅生产技术发展方向探讨

• 作者: 王东京 盛斌 詹水华 赵建
• 来源期刊: 广州化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 改良西门子法 硅烷法 气液沉积法
• 年，卷（期）: 2014,（15）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 17-20,38
• 页数: 5页
• 分类号: TF89
• 字数: 5322字
• 语种: 中文

摘要

讨论了国内外在多晶硅生产方面的主要技术---改良西门子法工艺，针对硅烷流化床法和气液沉积法做了技术性分析，为我国多晶硅在硅烷流化床法和气液沉积法方面的发展提供一些建议。开发和利用这些技术，对解决目前国内面临的多晶硅生产成本高居不下、质量不高的问题，提高我国多晶硅在国际上的竞争力具有重要意义。