Sol-gel法制备共掺杂ZnO∶Al/N/F薄膜的性能研究

• 作者: 刘志宝 孙华 张志坚 王小蕊 马洪芳 马芳
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 ZnO薄膜 共掺杂 光电性能
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 页码范围: 2407-2412
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 字数: 4052字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在普通载玻片上旋涂制备出Al、N、F三掺杂ZnO薄膜(ZnO:Al/N/F),分别研究溶胶浓度和掺杂浓度对薄膜结构、表面形貌以及光电性能的影响.通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、可见分光光度计、双电测四探针电阻率测试仪进行测试与分析.结果表明:制备出的ZnO∶Al/N/F薄膜致密均匀,平整光滑,为高结晶质量的(002)C轴择优取向;当溶胶浓度为0.75 mol/L、掺杂浓度为0.90at％时,薄膜在可见光范围内(390～780 nm)的平均透过率可达87.9％,掺杂浓度为1.05at％时电阻率最小,为0.23 Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙华	山东建筑大学材料科学与工程学院	30	173	8.0	11.0
2	马芳	山东建筑大学材料科学与工程学院	8	31	4.0	5.0
3	马洪芳	山东建筑大学材料科学与工程学院	39	314	10.0	16.0
7	刘志宝		7	94	5.0	7.0
8	张志坚	山东建筑大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
9	王小蕊	山东建筑大学材料科学与工程学院	5	21	2.0	4.0