基于时间参考点的差动式线阵CCD位移传感器

• 作者: 付敏 彭东林 郑方燕 陈锡侯 鲁进
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光电式传感器 CCD位移传感器 时间参考 位移测量
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 956-962
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 3116字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142204.0956

摘要

为了将线阵CCD应用于实际工程的大尺寸位移测量,利用线阵CCD像元空间与输出时间的对应关系,提出了一种差动式测量的线阵CCD位移传感器测量系统.分析了线阵CCD位移测量存在的问题,结合线阵CCD中像元空间与驱动脉冲之间的对应关系,提出一种以时间为参考点的差动式测量方法.该方法用两个空间上对齐、时间上错开半个积分周期的线阵CCD检测透光挡板上等间距分布的透光光线的位置变化;通过计算两个CCD上输出光信号的时间差,用匀速扫描测量原理实现对空间位移的测量.用雷尼绍激光干涉仪对所研制的线阵CCD位移传感器进行了校准,结果显示:在有效测量范围(600.05 mm)内,经过修正后的测量误差可控制在±2μm以内,验证了用差动法实现线阵CCD大尺寸精密位移测量的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭东林	重庆大学机械传动国家重点实验室	86	653	14.0	17.0
3	陈锡侯	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心	54	435	13.0	17.0
4	郑方燕	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心	62	440	12.0	16.0
7	付敏	重庆大学机械传动国家重点实验室	4	42	4.0	4.0
8	鲁进	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心	17	115	7.0	10.0