调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响

• 作者: 张德福 李显凌
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 深紫外光刻 投影物镜 像差补偿 偏心调节机构 调节力 面形
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 285-292
• 页数: 8页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0716004

摘要

针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均方根(RMS)值和Fringe Zernike多项式系数之间的关系.计算结果表明:调节时通过降低调节力的大小,可以控制面形劣化程度.采用具有吸收调节力功能的柔性支撑结构后,在50 N的驱动力偏心调节时,透镜上表面面形PV值和RMS值分别为2.704 nm和0.528 nm,透镜下表面面形PV值和RMS值分别为2.984 nm和0.571 nm.透镜面形的PV值、RMS值及Fringe Zernike多项式系数随调节力线性变化,但是调节力不会改变各种像差的性质,它引入的透镜像差主要为像散.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李显凌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	82	5.0	8.0
2	张德福	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	67	4.0	8.0