基于多次平移的平面绝对检测仿真

• 作者: 任寰 刘勇 刘旭 陈波 马骅
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 多次平移法 平面绝对测量 高精度面形检测 仿真分析
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: TB96
• 字数: 2052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.051009

摘要

将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形.推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响.仿真结果表明:待测平面与初始平面残差图的均方根值为5.118×10-13λ,理论误差达到高精度平面面形检测要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	97	475	12.0	18.0
2	任寰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	177	10.0	13.0
3	刘勇	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	44	208	8.0	12.0
4	马骅	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	1	1.0	1.0
8	刘旭	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	63	5.0	7.0