低气压大体积等离子体发生及其电参数特性研究

• 作者: 刘振 王秉哲 闫克平 黄逸凡
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 真空 大体积等离子体 脉冲 平行板电极 放电起始电压 功率密度
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 放电等离子体及其航空航天工程应用专题
• 页码范围: 2150-2155
• 页数: 6页
• 字数: 2906字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.2014.07.033

摘要

低气压大体积的均匀等离子体在材料处理、催化剂的活化和再生等领域有很好的应用前景.为研究理想的低气压大体积等离子体发生装置,在自制的真空反应器中采用平行板电极,在10～100 Pa的气压下,利用脉冲宽度小于50 μs、峰值电压小于3 kV、频率50～104 Hz的双极性脉冲源,发生了最大体积约为21 L的均匀等离子体.对放电时反应器的电压电流波形进行了测试,获得在不同压强的空气、氧气、氩气介质,不同的电极间距下,放电的起始电压,以及空气中等离子体功率随气体压强、电极间距、极板面积、脉冲频率及电压峰值等不同参数变化的数量关系.结果表明:在3种介质中均获得了大体积均匀等离子体,最大体积为21L,且空气中气压＜50 Pa时,生成等离子体的均匀性和放电的稳定性较好;在20～100 Pa的空气中,电极间距为10～30 cm时,放电起始电压随着气压和电极间距增大而增大;放电的功率密度与极板面积无关,随气压、脉冲频率、电压的增大而增大,随电极间距的增大而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘振	浙江大学生物质化工教育部重点实验室	29	166	7.0	12.0
5	闫克平	浙江大学生物质化工教育部重点实验室	36	156	8.0	10.0
9	黄逸凡	浙江大学生物质化工教育部重点实验室	16	95	4.0	9.0
13	王秉哲	浙江大学生物质化工教育部重点实验室	2	14	2.0	2.0