非接触式扫描反射镜转角测量系统

• 作者: 张新洁 张达 汪逸群 王洋 胡春晖 顾志远 颜昌翔
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱成像仪 扫描镜 非接触测量 角度测量 多项式拟合 误差分析
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 850-855
• 页数: 6页
• 分类号: TP731|TB92
• 字数: 3263字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142204.0850

摘要

为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统.介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射镜增大测角范围.为了降低对加工及装调精度的要求,对系统进行了误差分析,给出了采用多项式拟合法进行角度测量的理论依据.讨论了影响系统检测精度的一系列误差源,计算了系统测量的总误差.最后进行了相关的测量实验.实验结果表明:系统的检测系统分辨率为2.5",测角范围为11°,测角精度可达3",可以满足扫描反射镜对角度测量系统提出的高精度、非接触、大测角范围的要求.