Mylar膜衬底上的镀膜技术

• 作者: 张榕 杜英辉 樊启文
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: M ylar膜 真空蒸发 辐射热 冷凝热 厚度控制 均匀性
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1871-1875
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2014.48.10.1871

摘要

本文系统地研究了在M ylar膜上通过真空蒸发沉积各种不同材料薄膜的技术，详细讨论了真空蒸发沉积薄膜时使衬底温度升高的蒸发源的辐射热和沉积时的冷凝热，介绍了一种精确控制厚度的方法，分析了静止衬底和转动衬底沉积薄膜的均匀性，探索和总结了在M ylar膜衬底上镀膜过程中防止衬底软化的方法。在12.5μm厚的M ylar膜上成功沉积了厚度为1μg/cm2和20μg/cm2的Sc、T i等24种物理实验需要的薄膜。最后用X射线荧光分析方法测量了沉积在Mylar膜上的Cu膜和Cr膜的均匀性。结果显示，均匀性优于5％，完全满足物理实验的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜英辉	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	20	3.0	4.0
2	樊启文	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	4	1.0	2.0
3	张榕	中国原子能科学研究院核物理研究所	6	4	1.0	2.0