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摘要:
采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以钛酸丁酯、冰乙酸、乙酰丙酮、无水乙醇、去离子水为原料,制得TiO2薄膜.获得均匀连续TiO2薄膜的工艺参数为:匀胶转速为3000 r/min;镀膜时预处理温度为80℃、预处理时间为10min.
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关键词热度
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文献信息
篇名 氧化钛薄膜制备的研究
来源期刊 电脑迷 学科 工学
关键词 溶胶-凝胶 TiO2 热处理
年,卷(期) 2014,(13) 所属期刊栏目 应用研究
研究方向 页码范围 54,62
页数 2页 分类号 TQ0
字数 1087字 语种 中文
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2003
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