ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究

• 作者: 吴卫东 彭丽萍 曾体贤 王茂州 王雪敏 胡永琴
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌单晶 化学气相法 表面形貌 生长机制
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 页码范围: 1668-1671
• 页数: 4页
• 分类号: O781
• 字数: 1591字
• 语种: 中文

摘要

采用石墨辅助化学气相传输法生长了ZnO单晶体.利用XRD、金相显微镜和扫描电镜等对晶体结构和表面形貌进行研究,发现其表面由大量六边形台阶堆垛而成,单个晶粒呈六方伞状结构并始终显露(001)面.同一平面内台阶的大小、陡峭程度存在差异,台阶之间为平行走向.通过形成机制分析,获得生长体系的过饱和度σv约为7％,发现生长表面的腐蚀形貌为六边形平底蚀坑,确定在化学气相法中ZnO单晶呈台阶生长的主要条件是螺旋位错.