溶胶-凝胶法制备Ag掺杂的ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究

• 作者: 云强 任秀峰 年洪恩 李翔 海春喜 申月
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 退火温度 溶胶-凝胶法 Ag掺杂 透过率
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 页码范围: 1640-1644
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

溶胶-凝胶法制备了Ag掺杂的ZnO薄膜(AZO).采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、UV-VIS分光光度计、光致发光检测研究了掺杂浓度和退火温度对AZO薄膜光学和结构的影响.AZO薄膜呈(002)择优生 长的纤维锌矿六角形结构的多晶相.0.5％和1％ Ag掺杂的薄膜在可见光波长区域光学透过率在70％～ 80％之间,随着Ag掺杂浓度的升高平均透过率有所降低.5％ Ag掺杂的ZnO薄膜经空气中700℃退火后出现两条发射光谱带,经He气氛中退火后UV发射光谱显著增强,并且可见光发射光谱随之消失.