光栅机械刻划摩擦型颤振机理

• 作者: 史国权 吉日嘎兰图 吕杨杨 石广丰 肖为
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 机械刻划 摩擦型颤振 稳定性分析
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3061-3066
• 页数: 6页
• 分类号: TH113.1|O436.1
• 字数: 3606字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142211.3061

摘要

研究了光栅机械刻划过程中弹性刀架和金刚石刻刀系统的摩擦型颤振机理.建立了光栅机械刻划摩擦型颤振动力学模型,并对颤振系统进行了稳定性分析,提出了系统的稳定性条件和“稳定性阈”.从能量角度对颤振进行了分析,获得了相同的稳定性条件.在刻划工艺试验装置上单一改变刻划速度进行了光栅刻划试验,通过对刻划力的测量和分析,验证了竖直方向刻划力相对于刻划速度具有下降特性,即满足了摩擦型颤振的前提条件.最后,通过对2、6、10和13 mm/s 4组不同刻划速度下所刻光栅槽形轮廓的检测,验证了该系统在超过临界刻划速度(在6～10 mm/s)的情况下会有颤振发生.验证实验证明了该摩擦型颤振动力学模型的有效性和稳定性阈的存在性,为深入量化分析并抑制颤振的发生奠定了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石广丰		69	202	6.0	11.0
2	史国权		88	340	9.0	15.0
3	吉日嘎兰图	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	15	2.0	3.0
4	吕杨杨		2	1	1.0	1.0
5	肖为		3	4	1.0	2.0