晶圆厂设施布局规划研究

• 作者: 刘春华
• 来源期刊: 物流工程与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 晶圆厂 设施布局规划
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 经济与管理
• 页码范围: 134-136
• 页数: 3页
• 分类号: TH69
• 字数: 2974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-4993.2014.04.059

摘要

半导体制造是集技术、资金、人才于一体的行业,投资巨大,建设周期长.在半导体制造业中,由于对洁净室的环境要求高,半导体设备的昂贵、敏感性和工艺的复杂性,以及高昂的移机费用,增加了晶圆厂布局的难度与挑战,使得工厂的设施布局规划显得尤为重要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘春华		1	2	1.0	1.0