蚀刻机喷淋系统结构设计

• 作者: 周志近
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 喷淋系统 蚀刻 喷咀
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TN405.98
• 字数: 1707字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2014.11.008

摘要

喷淋系统的结构设计对于线路板蚀刻效果的影响是非常的大，设计了四套方案，并对每种方案进行了试验论证，结果表明每种方案具有各自的应用场合，其中，绕轴线摆动式喷淋系统总体性能较佳，但结构复杂，价格昂贵。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周志近		28	34	4.0	5.0