压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制

• 作者: 李佩玥 李朋志 郭嘉亮
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 压电陶瓷 电容传感器 扩展卡尔曼滤波(EKF) 容错控制
• 年，卷（期）: 2014,（21）
• 所属期刊栏目: 电子技术应用
• 页码范围: 152-155
• 页数: 4页
• 分类号: TN820.3-34|TP273+.5
• 语种: 中文

摘要

针对压电陶瓷定位系统中电容传感器故障对定位精度的影响，对使用扩展卡尔曼滤波（EKF）进行容错控制的方法进行了研究。以传感器采样电路故障和掉电故障为对象，对三阶轨迹规划算法下电容传感器的EKF滤波公式进行了分析，提出以离散化迭代计算的EKF代替传统的将非线性系统线性化的方法。在压电陶瓷定位系统实验平台上，使用激光干涉仪作为测量基准，在传感器采样电路故障和掉电故障的情况下，实现了500μm行程，绝对精度小于3.5μm，误差小于0.7%的定位控制。结果表明，基于EKF的电容传感器容错控制可以有效减小传感器故障引起的控制误差，增加压电陶瓷定位系统的鲁棒性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李佩玥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	273	10.0	14.0
2	李朋志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	8	66	4.0	8.0
3	郭嘉亮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	4	19	3.0	4.0