不同气氛下ZnO薄膜的准分子激光辐照效应

• 作者: 曾勇 蒋毅坚 赵艳
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 准分子激光辐照 ZnO 光致发光谱 电学性质 气氛
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 288-293
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0207001

摘要

研究了不同气氛下(空气、氧气和氮气)248 nm准分子激光辐照对ZnO薄膜光致发光谱和电学性质的影响；采用高斯线形对不同气氛下激光辐照ZnO薄膜的光致发光谱进行了拟合,并对位于3.31、3.28、3.247、3.1 eV附近的发光峰进行了归属指认和机理分析.激光辐照ZnO薄膜导致紫外光致发光峰强度明显下降并伴有少量红移,并且使得位于3.274 eV的一级声子伴线(D0X-1LO)发射峰和位于3.203 eV的二级声子伴线(D0X-2LO)发射峰合并形成一个峰.富氧条件下激光辐照ZnO薄膜会造成受主浓度增加,施主浓度减少；而缺氧条件下激光辐照ZnO薄膜会造成受主浓度减少,施主浓度增加.激光辐照后ZnO薄膜的载流子浓度上升了2个数量级,载流子迁移率上升了1个数量级,电阻率下降了3个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋毅坚		100	628	12.0	21.0
2	赵艳		33	153	7.0	12.0
3	曾勇		3	2	1.0	1.0