MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置

• 作者: 代富 刘婷婷 席仕伟 高杨
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 气体流量传感器 测试 标定 有限元分析
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 109-112
• 页数: 4页
• 分类号: TH814|TF068.23
• 字数: 2582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2014)08-0109-04

摘要

为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定，设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成，利用不同的砝码配重，在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析和Ansys有限元数值仿真，验证了简易标准流量发生器的可行性。传感器信号读出与数据采集电路基于内建多路A/D转换器的单片机实现，具有传感器加热电阻器的恒温控制、流量信号的数字检测和显示的功能。采用该简易流量测试装置对自行研制的MEMS气体流量传感器进行了流量测试与标定，获得了待测器件的标定参数、传感器流量测量的绝对误差和相对误差。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	席仕伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	59	4.0	7.0
6	刘婷婷	西南科技大学信息工程学院	36	212	9.0	12.0
8	代富	西南科技大学信息工程学院	5	24	3.0	4.0