基于LaNiO3和Pt电极的Pb（Zr0．52Ti0．48）O3薄膜制备和电学性能研究

• 作者: 李志永 李进 赵全亮 邹雪
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 锆钛酸铅 铁电性能 介电性能 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2014,（17）
• 所属期刊栏目: 研究??开发
• 页码范围: 17070-17074
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 3638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2014.17.015

摘要

采用了溶胶-凝胶(sol-gel )法分别在LaNiO 3/Si 和 Pt/Ti/SiO 2/Si 基底上制备 Pb (Zr0．52 Ti0．48)O 3(PZT)薄膜.X 射线衍射(XRD)结果表明,在相同的工艺参数下 PZT/LaNiO 3薄膜表现出高度的(100)取向,而 PZT/Pt 薄膜则呈现(100)和(111)多晶混合取向.扫描电子显微镜(SEM)结果显示,PZT/LaNiO 3薄膜表面晶粒尺寸更加均匀.经过铁电和介电性能测试,PZT/LaNiO 3和 PZT/Pt 薄膜的剩余极化强度分别为24．4和15．3μC/cm2,矫顽场分别为130．90和243．23 kV/cm,介电常数分别为1125和453.电场强度＞100 kV/cm 时,漏电流分别为10-5和10-2数量级,同时铁电疲劳性能也明显改善.这些结果表明 PZT/LaNiO 3比 PZT/Pt 薄膜具有更好的电学性能,在铁电和介电器件方面具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李进	北京交通大学土木建筑工程学院	61	602	13.0	21.0
2	赵全亮	北方工业大学机电工程学院	15	24	3.0	3.0
3	李志永	北方工业大学建筑工程学院	7	4	1.0	1.0
4	邹雪	北京交通大学土木建筑工程学院	5	40	3.0	5.0