浅析微悬臂梁的应用

• 作者: 唐荣喜
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 微悬臂梁 传感器 谐振频率 换能技术
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 35-35,39
• 页数: 2页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

微悬臂梁结构因具有低成本、小体积、高性能等特点而被广泛应用于传感器的制作中，同时也成为当下传感器研究的热点。主要介绍微悬臂梁的结构、工作原理和它在传感器中的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐荣喜		2	3	1.0	1.0