Piranha化学法与化学浴沉积制备Sb2S3薄膜

• 作者: 刘剑
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Sb2S3薄膜 化学浴沉积 Piranha化学法
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 页码范围: 3318-3322
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2718字
• 语种: 中文

摘要

采用Piranha化学法与化学浴沉积技术相结合,在玻璃基板上成功制备了Sb2S3薄膜.研究了Piranha溶液不同处理时间对基板表面润湿性的影响,同时研究了Sb2S3薄膜相组成及形貌.结果表明,Piranha溶液能够有效地改善玻璃基板表面的润湿性,当处理时间为25 min时,基板表面润湿角达到最低值12.83°.Piranha溶液处理后的基板对于Sb2S3薄膜的沉积具有积极的诱导作用.沉积得到薄膜经200℃煅烧1h,由非晶态转变为正交相,薄膜在基板表面以单层球形颗粒平铺堆积生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘剑	唐山学院环境与化学工程系	22	52	5.0	6.0