磁控直流等离子体炬多耦合场的三维数值模拟

• 作者: 唐达培 魏建平
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体炬 多耦合场 三维模拟 磁流体力学
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 页码范围: 3301-3305
• 页数: 5页
• 分类号: O531
• 字数: 2745字
• 语种: 中文

摘要

在磁控直流等离子体炬中,等离子体的流动传热受到外磁场、内部电场和感应磁场的共同作用,形成了“电-磁-流-热”等多场耦合.根据炬内的多场耦合关系,建立三维磁流体动力学模型,应用二次开发的FLUENT软件对炬内的多耦合场进行三维数值模拟,得到等离子体在炬内的温度场、速度场、电流密度场以及炬出口处的温度和速度分布.结果表明,炬内的多耦合场具有明显的三维特征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐达培	西南交通大学力学与工程学院	25	229	7.0	14.0
2	魏建平	西南交通大学力学与工程学院	1	0	0.0	0.0