LaAlO3基体上 CaBaCo2 O5＋δ多晶薄膜的微观结构以及生长方式

• 作者: 丁莹 张学骜 方靖岳 李骏驰 陈充林 陈江华 马春蕊
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶薄膜 微观结构 薄膜生长方式
• 年，卷（期）: 2014,（17）
• 所属期刊栏目: 研究??开发
• 页码范围: 17050-17053
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2014.17.010

摘要

采用脉冲激光沉积方法,在(001)LaAlO 3上沉积 CaBaCo2 O 5＋δ多晶薄膜,用 X 射线衍射(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对基体和薄膜的微观结构进行观察,并探讨了薄膜的生长机制以及改善薄膜质量的可能工艺.结果表明,(1)LaAlO 3基体中存在位错、孪晶等缺陷,且孪晶类型以(100)楔形孪晶为主；(2)CaBaCo2 O 5＋δ薄膜为多晶薄膜,薄膜底部保留了薄膜生长过程中的初始晶粒结构,晶粒大小约5~8 nm,厚度约为5~7 nm.薄膜顶层的晶粒较大,约为11~16 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈江华	湖南大学材料科学与工程学院	58	432	10.0	18.0
2	李骏驰	湖南大学材料科学与工程学院	7	11	2.0	3.0
3	张学骜	国防科学技术大学理学院	20	107	6.0	9.0
4	丁莹	湖南大学材料科学与工程学院	4	23	3.0	4.0
5	方靖岳	国防科学技术大学理学院	11	70	6.0	8.0