一种复合型缓蚀剂配方的研究

• 作者: 吴晋英 徐会武 程玉山 陈燕敏 黄长山
• 来源期刊: 河南科学
• 关键词: 配方 设计与筛选 缓蚀剂
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 化学研究
• 页码范围: 723-725
• 页数: 3页
• 分类号: TQ016.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13537/j.issn.1004-3918.2014.05.009

摘要

通过对三种缓蚀剂配方的设计与筛选,提出了一种以亚硝酸钠(NaNO2)、次磷酸钠(NaH2PO2· H2O)、苯并三氮唑(BTA)等为主要成分的高效复合型缓蚀剂配方,该配方最佳配比为亚硝酸钠∶次磷酸钠∶苯并三氮唑=10∶3∶0.5(质量比),并研究了苯并三氮唑(BTA)的加入量、缓蚀剂的质量浓度和温度对缓蚀效果的影响,结果表明,缓蚀剂在介质中使用温度范围为10～65℃,质量浓度为100 mg/L时缓蚀效果最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴晋英		48	127	6.0	8.0
2	黄长山		43	129	6.0	8.0
3	徐会武		42	105	5.0	7.0
4	程玉山		23	61	4.0	5.0
5	陈燕敏		17	58	5.0	6.0