单级衍射量子点阵光栅的聚焦离子束直写法制备及光学性能检测

• 作者: 刁凯迪 张继成 易勇 曹磊峰 曾勇 王红斌 黄成龙
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 聚焦离子束直写加工(FIB) 量子点阵光栅(QDADG) 单级衍射
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 018101-1-018101-5
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.018101

摘要

采用聚焦离子束直写技术,成功制作了面积为200μm ×200μm,线密度500 mm-1,圆孔直径800 nm,金吸收体厚度为500 nm的单级衍射量子点阵光栅.研究了该光栅在波长442 nm激光下不同传输距离的衍射特性以及相对衍射效率.实验结果表明,量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有良好的单级衍射特性.1级衍射与0级衍射间距随传输距离的增大而增大,实测值与理论计算值相符.