短管螺旋波放电中等离子体参数测量和模式转化研究?

• 作者: 刘忠伟 熊玉卿 赵高 陈强 马超
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 螺旋波放电 原子发射光谱 集成电荷检测器 径向区域的变化
• 年，卷（期）: 2014,（23）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 235202-1-235202-6
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.235202

摘要

对长度为45 cm的短放电管螺旋波放电等离子体进行了Langmuir探针、原子发射光谱以及集成电荷耦合检测器(ICCD)检测诊断，研究螺旋波等离子体的放电特性。 Langmuir探针数据显示电子密度在射频功率增加过程中出现两次大幅增长，由此确认了放电模式的转换及螺旋波放电模式的出现。发射光谱测量结果与Langmuir探针测量的电子密度数据一致，发现Ar原子和Ar离子的谱线强度与放电模式变化有着密切相关性。而通过对不同放电模式的ICCD测量，获得射频功率吸收因放电模式转变而变化的方式，认为放电模式转换时电子行为和能量传递方式也发生着变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	熊玉卿	兰州物理研究所真空技术与物理重点实验室	16	147	8.0	11.0
3	刘忠伟	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	25	62	5.0	7.0
4	赵高	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	3	10	2.0	3.0
5	马超	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	3	10	2.0	3.0