溅射工艺对Cu/SiO2/Ni80 Fe20复合结构丝形貌及磁性能影响

• 作者: 嵇晓妍 李欣 潘校齐 潘海林 赵强 赵振杰 阮建中 陈德禄
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 复合结构丝 转速 巨磁阻抗效应 颗粒大小
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 研究?开发
• 页码范围: 10095-10097,10101
• 页数: 4页
• 分类号: TM271
• 字数: 1825字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2014.10.021

摘要

利用射频磁控溅射方法在自旋的 Cu 上制备了Cu/SiO2和 Cu/SiO2/Ni80 Fe20两个系列复合结构丝。利用扫描电镜、阻抗分析仪分析了溅射 Si O 2时基底丝旋转速率对复合结构丝的表面微观结构和巨磁阻抗效应的影响。实验结果表明,镀层表面颗粒大小随着制备 SiO2时转速的增加先减小后增大,Cu/SiO2/Ni80 Fe20复合结构丝的巨磁阻抗效应则随着转速的增加先增大后减小。