空间滤波器离子泵监控系统的设计

• 作者: 吕凤年 张臻
• 来源期刊: 数字技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 空间滤波器 自动化控制 溅射离子泵 PLC
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 数控技术
• 页码范围: 3-3
• 页数: 1页
• 分类号: TP273
• 字数: 493字
• 语种: 中文

摘要

在大型高功率激光驱动器中，多级空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。高能激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿，在日常运行过程中，我们使用溅射离子泵来维持管道的高真空。为了便于对多台离子泵控制器进行集中管理，在出现故障时能自动处理，利用PLC和串口服务器设计了相应的控制系统，保证物理实验的正常运行。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕凤年	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	36	2.0	6.0
2	张臻	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	15	1.0	3.0