高频热等离子体热解水氯镁石沉积氧化镁薄膜

• 作者: 张海宝 曹腾飞 程易
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 水氯镁石 薄膜 沉积 热解 热等离子体
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 材料化学工程与纳米技术
• 页码范围: 4191-4196
• 页数: 6页
• 分类号: TS392
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0438-1157.2014.10.058

摘要

我国盐湖资源丰富，其中位于青海的察尔汗盐湖是我国最大的钾肥生产基地。然而在钾肥生产过程中副产的大量水氯镁石（MgCl2·6H2O）目前尚得不到有效的利用，“镁害”已经成为盐湖卤水提钾后的首要问题。本文提出以高频热等离子体为高温热源，强化水氯镁石的热解过程，同时将热解产物沉积得到高附加值的MgO薄膜。研究结果表明，该工艺热解效率高，热解得到高纯的MgO薄膜，沉积效率可达到3.2μm·min-1，薄膜颗粒粒径处于10～60 nm之间，具有良好的光致发光性能；同时沉积工艺过程简单，适合大规模连续化生产。