飞秒激光烧蚀0Cr18Ni9不锈钢精度的影响因素

• 作者: 唐鹏 张庆茂 彭丽勇 林家新 郭亮
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光 激光烧蚀 不锈钢薄片 热影响区 金属-空气混合等离子体
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 81-86
• 页数: 6页
• 分类号: O436
• 字数: 3287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.081016

摘要

为了研究影响飞秒激光烧蚀0Cr18Ni9不锈钢精度的因素,采用飞秒激光对0Cr18Ni9不锈钢进行了切割和打孔实验.利用光学显微镜、光学金相显微镜等设备,对不锈钢烧蚀区形貌和切缝显微组织进行检测,基于烧蚀过程中CCD实时采集到的不锈钢表面的激光光斑图样,采用COMSOL Multiphysic数值模拟软件,模拟了烧蚀过程中激光束的发散传播行为,并计算了光束发散角.结果表明:当激光重复频率为5 kHz时,厚度为160μm的0Cr18Ni9不锈钢切缝和孔边缘被明显烧黑,切缝处晶粒明显长大,存在热影响区;烧蚀过程中,由飞秒激光超高功率密度所致的金属-空气混合等离子体使光束沿传播方向上发生散射,发散角在6°～10°之间.热影响区的存在和混合等离子体的行为是影响飞秒激光烧蚀0Cr18Ni9不锈钢精度的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张庆茂	华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室	60	548	15.0	22.0
2	郭亮	华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室	37	162	7.0	12.0
6	彭丽勇	华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室	1	0	0.0	0.0
7	唐鹏	华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室	1	0	0.0	0.0
8	林家新	华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室	1	0	0.0	0.0