生物分子膜门电极AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管（HEMT）生物传感器研究

• 作者: 吴东岷 张志强 李加东 程珺洁 苗斌 魏晓玮 黎海文
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 二维电子气 高电子迁移率晶体管 生物传感器 前列腺特异性抗原
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 070204-1-070204-6
• 页数: 1页
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.070204

摘要

设计并制作了结构尺寸为毫米量级的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)生物传感器，采用数值分析的方法分析了器件传感区域长度与宽度比值及待测物调控二维电子气(2DEG)距离与感测信号之间的关系，给出了结构尺寸为毫米量级的AlGaN/GaN HEMT生物传感器的设计依据，以不同浓度的前列腺特异性抗原(PSA)为待测物，对制作的AlGaN/GaN HEMT生物传感器进行了初步测量，测试结果表明，在50 mV的电压下，毫米量级的AlGaN/GaN HEMT生物传感器的对PSA的探测极限低于0.1 pg/ml.实验表明毫米量级的AlGaN/GaN HEMT生物传感器具有灵敏度高，易于集成等优点，具备良好的应用前景.