双靶共溅射制备Cd1-x Znx Te多晶薄膜的性质研究

• 作者: 冯良桓 张立祥 张静全 李卫 武莉莉 汪雪梅 王文武
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: Cd1-x Znx Te薄膜 磁控溅射 叠层电池
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 页码范围: 8139-8142
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+6
• 字数: 3522字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2014.08.030

摘要

采用双靶共溅射法,分别在不同衬底温度、沉积压强和溅射功率下制备了 Cd1-x Znx Te 多晶薄膜样品,并采用X射线衍射仪、X 射线荧光光谱仪、扫描电子显微镜等方法对制备的 Cd1-x Znx Te 薄膜的结构、成分、形貌和光电学性质进行测试分析。结果表明,300℃衬底温度下制备的Cd1-xZnxTe薄膜成分单一,立方相结构,生长致密,表面颗粒平均大小约50 nm,Cd1-x Znx Te薄膜在(111)晶面的2θ值及晶格常数与Zn组分呈线性关系。Cd1-x Znx Te薄膜的禁带宽度与组分x 值呈线性关系。随着气压从8 Pa降低至1 Pa,Cd1-x Znx Te薄膜的晶粒尺寸增加,生长更加致密。Cd1-xZnxTe薄膜的室温电导率约为8.61×10-11(Ω·cm)-1,呈弱P型。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯良桓	四川大学材料科学与工程学院	78	424	10.0	17.0
2	王文武	四川大学材料科学与工程学院	27	9	2.0	2.0
3	张静全	四川大学材料科学与工程学院	69	285	8.0	15.0
4	李卫	四川大学材料科学与工程学院	56	193	7.0	12.0
5	武莉莉	四川大学材料科学与工程学院	56	217	8.0	13.0
6	张立祥	四川大学材料科学与工程学院	3	5	1.0	2.0
7	汪雪梅	四川大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0