氩气压强对柔性衬底ZnO∶Al薄膜性能的影响

• 作者: 李姗 杨恢东 汪文明 闵文骏 雷飞
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 氩气压强 柔性衬底 ZnO∶Al薄膜 直流磁控溅射
• 年，卷（期）: 2014,（20）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TB333|O484
• 字数: 2598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2014.20.002

摘要

采用直流磁控溅射技术在柔性衬底聚酰亚胺(PI)上制备ZnO∶Al透明导电薄膜,研究氢气压强对样品薄膜结构、形貌和光电性能的影响,并与玻璃衬底进行了对比.结果表明:所有制备的ZAO薄膜都是六方纤锌矿结构且具有高度的c轴择优取向;氩气压强对样品薄膜的性能有较大影响,具体表现在:随着压强的增大,晶粒尺寸先增大后减小,方块电阻值先减小后增大,最小值出现在压强为12 Pa,其值为12 Ω/sq,600～800nm薄膜的相对透射率为94％,高于玻璃衬底的相对透射率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨恢东	暨南大学信息与科学技术学院	28	154	7.0	11.0
3	李姗	暨南大学信息与科学技术学院	8	14	2.0	3.0
6	汪文明	暨南大学信息与科学技术学院	2	2	1.0	1.0
7	雷飞	暨南大学信息与科学技术学院	3	2	1.0	1.0
8	闵文骏	暨南大学信息与科学技术学院	1	2	1.0	1.0