钼板轧制及热处理工艺对溅射薄膜微观组织及性能的影响

• 作者: 刘仁智
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 钼 靶材 微观组织 溅射
• 年，卷（期）: 2014,（22）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 102-105,113
• 页数: 5页
• 分类号: TG146.4+12
• 字数: 2255字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2014.22.024

摘要

通过研究钼金属靶材轧制变形量及热处理工艺对溅射薄膜的微观组织、表面粗糙度及晶形的影响,结果表明:变形量为80％的钼靶材溅射制备的薄膜晶化程度优于变形量小的靶材溅射薄膜;溅射相同的薄膜厚度,随着靶材变形量的增大,溅射薄膜的方阻越大;1373K退火靶材溅射薄膜的粗糙度最小,表面颗粒最细小均匀,晶粒取向明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘仁智	西安建筑科技大学冶金工程学院	46	221	7.0	11.0