级联式平面抛物面型X射线组合折射透镜的设计与制作

• 作者: 乐孜纯 付明磊 全必胜 周寒青 张明 毛成文 沈小燕 王华 王昌辉
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 组合折射透镜 X射线光学器件 抛物面型透镜
• 年，卷（期）: 2014,（19）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 87-93
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.194103

摘要

X射线组合折射透镜(CRL)已逐步成为同步辐射光源下X射线聚焦光学器件的标准配件之一,它具有结构紧凑、易调节校准、适用光子能量范围大等优点.本文设计了一种级联式平面抛物面型CRL,它将N1个具有较大抛物面几何孔径(R0)的折射单元I与N2个具有较小抛物面顶点曲率半径(R)的折射单元II级联,以解决常规CRL设计过程中焦斑尺寸与透过率的矛盾.采用PMMA材料,利用LIGA技术制作了一组级联式平面抛物面型CRL,其中折射单元I的主要结构参数为N1=15, R1=200μm,2R01=564μm；折射单元II的主要结构参数为N2=20, R2=50μm,2R02=140μm.在上海光源同步辐射线束上,所制作的级联式平面抛物面型CRL实现了对初始光斑尺寸为200μm ×100μm的入射X射线的一维聚焦,测试得到的焦距为1.052 m,横向焦斑尺寸为24.9μm@8 keV,透过率为2.19%.