低压下激光剥离的研究

• 作者: 刘宝林 曾凡明 朱丽虹 李晓莹 林飞 陈志远
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: GaN 激光剥离 多脉冲激光照射 激光剥离速率
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 激光与红外技术 -- 光电子材料与器件
• 页码范围: 156-159
• 页数: 4页
• 分类号: TN24-34
• 语种: 中文

摘要

为了研究低压环境对激光剥离的影响，利用准分子激光剥离系统和真空腔对GaN/蓝宝石样品分别在低压下和常压下进行多脉冲激光照射，之后用台阶仪测量样品的分解深度，得知相比常压环境，低压下GaN分解深度在脉冲次数为10次、20次、30次时分别增加了为10.2%，19.0%，24.3%，之后结合GaN材料分解过程和脉冲激光照射GaN/蓝宝石结构过程进行理论分析得到相应低压和常压下的GaN材料的理论分解深度，得到与实验一致的趋势。证明了低压环境能提高激光剥离速率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘宝林	厦门大学物理与机电工程学院	30	167	9.0	11.0
2	朱丽虹	厦门大学物理与机电工程学院	8	26	3.0	5.0
3	李晓莹	厦门大学物理与机电工程学院	4	10	1.0	3.0
4	林飞	厦门大学物理与机电工程学院	4	48	3.0	4.0
5	曾凡明	厦门大学物理与机电工程学院	3	3	1.0	1.0
6	陈志远	厦门大学物理与机电工程学院	2	3	1.0	1.0