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摘要:
本文对新型基于水银为介质的微流体加速度开关进行了介绍。说明了水银加速度开关的原理,对开关的工艺作了探讨。
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文献信息
篇名 新型水银微加速度开关制作工艺
来源期刊 电子测试 学科
关键词 微流体 水银开关 制作工艺
年,卷(期) 2014,(z1) 所属期刊栏目 设计与研发
研究方向 页码范围 13-15
页数 3页 分类号
字数 3504字 语种 中文
DOI
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1 孙宪南 8 1 1.0 1.0
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微流体
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制作工艺
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电子测试
半月刊
1000-8519
11-3927/TN
大16开
北京市100098-002信箱
82-870
1994
chi
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