MEMS传感器的发展及其在煤矿井下的应用研究

• 作者: 李军 赵军
• 来源期刊: 煤炭技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 传感器 煤矿井下
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 交流与探讨
• 页码范围: 238-240
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 3057字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13301/j.cnki.ct.2014.07.089

摘要

介绍了微机电系统(MEMS)传感器的发展现状,分析了典型的商用MEMS传感器,针对煤矿井下传感器应用特点,重点阐述并研究了基于MEMS技术的压力、气体传感器在煤矿井下应用的技术性能优势和可行性.最后,对煤矿井下的MEMS传感器的应用趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵军		2	10	1.0	2.0
2	李军		22	24	3.0	4.0