CO2激光光栅式扫描修复熔石英表面缺陷的实验研究与数值模拟

• 作者: 刘春明 向霞 吕海兵 廖威 杨永佳 王海军 祖小涛 蒋勇 袁晓东 贺少勃 邱荣 郑万国
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 熔石英 CO2激光 光栅扫描 数值模拟
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 068105-1-068105-8
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.068105

摘要

基于熔石英材料对波长为10.6μm的CO2激光具有强吸收作用这一特点，提出采用CO2激光光栅式多次扫描修复熔石英光学元件表面密集分布的划痕和抛光点等缺陷的方法.实验结果表明，在合理的扫描参数下，元件表面的划痕和抛光点等缺陷可被充分地消除.损伤阈值测试结果表明，表面划痕和抛光点等缺陷被完全消除的元件的损伤阈值可回复到或超过基底的损伤阈值.同时结合有限元软件Ansys的模拟结果分析了CO2激光扫描修复及消除元件表面划痕和抛光点等缺陷的过程.本文为消除元件表面划痕和抛光点等缺陷提供了非常有意义的参考.