GaN基发光二极管衬底材料的研究进展

• 作者: 吴锋 唐慧丽 姜大朋 徐军 徐晓东 王静雅 罗平 钱小波 陈伟超 麻尉蔚
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 发光二极管 氧化镓 蓝宝石 碳化硅
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 068103-1-068103-13
• 页数: 1页
• 字数: 9563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.068103

摘要

GaN基发光二极管(LED)作为第三代照明器件在近年来发展迅猛。衬底材料作为LED制造的基础，对器件制备与应用具有极其重要的影响。本文分析综述了衬底材料影响LED器件设计与制造的关键特性(晶格结构、热胀系数、热导率、光学透过率、导电性)，对比了几种常见衬底材料(蓝宝石、碳化硅、单晶硅、氮化镓、氧化镓)在高质量外延层生长、高性能器件设计和衬底材料制备方面的研究进展，并对几种材料的发展前景做出了展望。