飞秒激光改性6H-碳化硅晶体表面光电导增益现象研究

• 作者: 刘杰 曲士良 王强 范光华 赵海峰 高仁喜 高胜英
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 光电导增益 6H碳化硅 飞秒激光
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 067801-1-067801-6
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.067801

摘要

半绝缘6H型碳化硅(6H-SiC)具有高电阻率性质，在可见光照射下进行光电导测量时，通常光生电流很小；然而经过飞秒激光辐照改性之后，发现在可见光波段的光电导有明显的增益。本文利用紫外-可见-近红外吸收谱、X射线光电子能谱和发光光谱测量分析了激光改性之后碳化硅样品的光谱吸收、发射和晶体元素比例变化情况。分析认为碳化硅光电导增益的原因是飞秒激光辐照过程改变了碳化硅表面的硅碳元素的原子浓度比，形成新的物质结构形式，从而导致了表面光电导性能的提高。