共溅射Al-Zr合金薄膜的非晶化及其力学性能*

• 作者: 孙士阳 尚海龙 张安明 李戈扬 马冰洋
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 超过饱和固溶 非晶薄膜 Al-Zr薄膜 力学性能
• 年，卷（期）: 2014,（13）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 307-311
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.136801

摘要

为研究合金薄膜非晶化后力学性能持续提高的原因,通过双靶磁控共溅射方法制备了一系列不同Zr含量的Al-Zr合金薄膜,采用EDS, XRD, TEM和纳米力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能.结果表明：在溅射粒子高分散性和薄膜生长非平衡性的共同作用下,较低Zr含量的薄膜形成超过饱和固溶体,剧烈的晶格畸变使薄膜的晶粒纳米化,其硬度相应迅速提高.随Zr含量的进一步增加薄膜形成非晶结构,非晶薄膜的硬度因Al-Zr键数量的增加持续提高,并在含33.3 at.%Zr达到9.8 GPa后增幅减缓.研究结果揭示了非晶薄膜中Al-Zr键对薄膜力学性能的显著作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
2	尚海龙	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	16	34	4.0	4.0
3	孙士阳	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	8	16	3.0	3.0
4	马冰洋	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	4	3	1.0	1.0
5	张安明	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	4	3	1.0	1.0