膜去溶和ICP-MS联用热焰模式直接测定CMOSIII甲醇中金属离子的含量

• 作者: 刘国强 刘毅春 方晓红 李海燕 董天姿 赵淑兰
• 来源期刊: 科技信息
• 关键词: 甲醇 电感耦合等离子体质谱仪 膜去溶 热焰 多元素
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 工程与技术
• 页码范围: 69-69,82
• 页数: 2页
• 字数: 2498字
• 语种: 中文

摘要

文章建立了直接测定半导体三级甲醇多元素含量的方法。以膜去溶作为进样系统，四级杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）作为分析仪器，采用热焰模式分析。首先测定CMOSIII甲醇，然后测定以Be,Co,In,Bi作为加标的CMOSIII甲醇，加标样品测定加标回收率，同时测定Na,Mg,K,Ca,Fe的检出限。实验结果证明该方法具有进样速度快、精密度高等优点。热焰模式提高了碳的燃烧度，溶液中离子电离效率得到提升，降低了锥孔碳的积累，仪器信号漂移变缓，提高了准确度。膜去溶与ICP-MS联用是快速分析半导体三级甲醇中金属离子的有效方法，膜去溶的使用解决了常规雾化器进样容易熄火的问题，有效的减小了基体干扰，同时热焰模式提高了仪器的整体灵敏度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李海燕		8	2	1.0	1.0
2	刘国强		9	4	1.0	1.0
3	赵淑兰		7	3	1.0	1.0
4	方晓红		5	3	1.0	1.0
5	刘毅春		4	2	1.0	1.0
6	董天姿		2	2	1.0	1.0