VO2/AZO复合薄膜的制备及其光电特性研究

• 作者: 刘飞 唐佳茵 孙瑶 方宝英 李毅 王晓华 肖寒 袁文瑞 郑鸿柱 郝如龙 陈少娟 陈建坤
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: VO2 AZO 热致相变 光电特性
• 年，卷（期）: 2014,（21）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 387-394
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.218101

摘要

采用直流磁控溅射和后退火氧化的方法在掺铝氧化锌(AZO)导电玻璃上制备了二氧化钒(VO2)薄膜,研究了不同的退火温度、退火时间对VO2/AZO复合薄膜制备的影响,并对复合薄膜的结构、组分、光电特性进行了测试与分析。结果表明,导电玻璃上的AZO没有改变VO2的取向生长,但明显改变了VO2薄膜的表面形貌特征。与用相同工艺和条件在普通玻璃基底上制备的VO2薄膜相比, VO2/AZO复合薄膜的相变温度降低约25?C,热滞回线宽度收窄至6?C,相变前后可见光透过率均在50%以上,1500 nm处红外透过率约为55%和21%,电阻率变化达3个数量级。该复合薄膜表面平滑致密,制备工艺简单,性能稳定,可应用于新型光电器件。