溅射气压对ZnO：Al透明导电薄膜性能影响

• 作者: 梁艳
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: ZnO:Al(AZO)薄膜 磁控溅射 光学和电学特性
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 实验研究 Experimental Research
• 页码范围: 41-41,40
• 页数: 2页
• 字数: 2205字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射技术，在康宁玻璃衬底上制备了从0.12Pa到1.0Pa共计5个不同溅射气压系列的ZnO：Al（AZO）薄膜样品，通过紫外-可见光谱仪、四探针、台阶仪等测试手段研究了薄膜的晶体结构、光学和电学性能，结果表明，溅射气压对薄膜的结晶质量、光学和电学性能影响较大，在0.12Pa气压条件下制备的薄膜具有最优的光电特性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁艳		6	1	1.0	1.0