射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的椭圆偏振光谱研究*

• 作者: 孔乐 崔敏 庞天奇 苗一鸣 邓金祥 陈亮 陈仁刚 高学飞
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 氮化锌薄膜 X射线衍射 椭偏光谱 光学参数
• 年，卷（期）: 2014,（13）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 137701-1-137701-8
• 页数: 1页
• 字数: 5269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.137701

摘要

在不同的衬底温度下，使用反应射频磁控溅射法，在玻璃衬底上制备了氮化锌薄膜样品.用X 射线衍射仪、原子力显微镜和椭偏仪对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性质进行了表征分析.薄膜的晶粒尺寸会随着衬底温度的升高先增大后减小，在200C时薄膜的结晶性最好.用椭偏仪测试样品，建立物理模型计算出氮化锌薄膜在430-850 nm范围内的折射率和消光系数等光学参数.利用Tauc公式计算出氮化锌薄膜的光学带隙在1.73-1.79 eV之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔乐	北京工业大学应用数理学院	18	53	5.0	7.0
2	邓金祥	北京工业大学应用数理学院	45	150	7.0	9.0
3	崔敏	北京工业大学应用数理学院	16	44	5.0	5.0
4	陈亮	北京工业大学应用数理学院	20	61	5.0	6.0
5	陈仁刚	北京工业大学应用数理学院	3	10	2.0	3.0
6	高学飞	北京工业大学应用数理学院	2	8	2.0	2.0
7	庞天奇	北京工业大学应用数理学院	2	11	2.0	2.0
8	苗一鸣	北京工业大学应用数理学院	2	8	2.0	2.0