抗反射疏水红外窗口的制备研究

• 作者: Haraguchi Masanobu 张然 徐微微 曹小文 高炳荣
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 激光干涉 抗反射 疏水
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 054201-1-054201-6
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.054201

摘要

本研究利用纳秒激光两次双光束干涉无掩模烧蚀、快速制备硫化锌(ZnS)微纳结构抗反射疏水表面，使其红外透过率由原来的75%增加到92%，解决了表面淀积抗反射镀层膜层附着力、抗蚀性、热胀失配等问题。此方法加工过程快速简单，可实现大面积制作，且微纳结构使基底具有疏水性能，疏水角可达145?。使其在光电子、太阳能、航空航天及红外制导等领域具有广泛的应用前景。