基于GaN LED芯片的反射电极结构在量产中的稳定性研究

• 作者: 王远红
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: GaN LED 反射电极结构 金属铝 稳定性
• 年，卷（期）: 2014,（23）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 91-92
• 页数: 2页
• 分类号: TN386
• 语种: 中文

摘要

以GaN LED芯片量产制造中的一种主流金属电极结构(反射电板结构)为研究对象,主要从实际量产过程中如何保持该电极的稳定性方面着手研究.该研究详细阐述了如何实现和管控反射电极结构第1层膜厚的准确性,并指出了其对GaN LED芯片各项性能的影响;同时,还详细阐述了反射电板结构在量产过程中如何防范金属铝在后续作业和在存储过程中被慢慢腐蚀而导致电板结构不稳定的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王远红		1	0	0.0	0.0